Rapid Thermal Processing

Genauso gut wie vom OEM

ENGINEERING-KOMPONENTEN & NEUTEILE

Beschaffungslösungen im Rapid Thermal Processing

Auch im Bereich RTP können wir eine Auswahl an hochprofessionellen Neuteilen bieten. Gerade bei Komponenten, wie dem Kugellager für AMAT XE, das der OEM aufgekündigt hat und nicht mehr liefert, kann das eine echte, teilweise auch die einzige Problemlösung für unsere Kunden sein. Es erleichtert die Beschaffung bzw. ermöglicht sie eventuell erst und erweitert die Lebensdauer vorhandener Maschinen.

Wir offerieren folgende RTP-Neuteile

Obere & untere Kugellager für AMAT XE

Goldhülsen für Lampenhaus

Saphirfühler

REFURBISHMENTS & REPARATUREN

Gebrauchte RTP-Komponenten wie neu

Komponenten, die im Rapid Thermal Processing eingesetzt werden, sind extremen Bedingungen und Belastungen ausgesetzt, so dass sie schnell degradieren. Zusätzlich sind ihre Strukturen meistens sehr komplex in Bezug auf Form, Aufbau und/oder Zusammensetzung von Beschichtungen, was sachgemäße Aufarbeitungen schwierig macht. Die Anlagenhersteller bieten ihren Kunden häufig nur sehr teure Neuteile und überhaupt keine Reparaturen an. Hier kommt amcoss in Spiel – bei uns erhalten Sie einen Reparaturservice auf höchstem Niveau!

Wir überarbeiten die folgenden Komponenten:

Lampenhaus für AMAT Xe & Mod1

Mattson Reaktor SHS2900

Reflektorplatten für AMAT XE, Radiance, Mod1

Obere & untere Kugellager für AMAT XE

Und wir kalibrieren

• Tempmatch Tools für Centura, Radiance und Radiance+
• Sekidenko 2000

KOMPLETTE SANIERUNG VON RTP LAMPENHÄUSERN

Komplex, zuverlässig, rentabel

Undichte Schweißnähte, mechanische Schädigungen, Haarrisse, chemische Ablagerungen und Oberflächenbeschädigungen führen zu einer Reduzierung der Funktionstüchtigkeit von Lampenhäusern. Obwohl die Aufbereitung eines Lampenhauses aufgrund seines komplexen Aufbaus ein ziemlich herausfordernder Prozess ist, hat amcoss ein professionelles Refurbishment entwickelt. Unsere Experten führen dabei verschiedenste Prozessschritte, wie chemische Reinigungen, Dichtigkeitsprüfungen, mechanische Bearbeitungen sowie Austausch und Schweißen von beschädigten Teilen, durch. Das Ergebnis ist ein instandgesetztes, voll funktionstüchtiges Lampenhaus, das sehr viel weniger kostet, als ein neues.

Vor Überarbeitung

Nach Überarbeitung

Lampenhaus-Hülsen

REPARATUR VON MATTSON REAKTOREN SHS 2900

Auf Beschichtungsqualität und Dichtheit kommt es an

Ein Mattson Reaktor ist ein komplexes Konstrukt. Aufgrund hoher Beanspruchung degradiert die Gold­beschichtung und kommt es zu undichten Stellen. In einem aufwendigen Prozess zerlegen wir den Reaktor zunächst komplett in seine Einzelteile, wo erst das gesamte Ausmaß der Beschädigungen sichtbar wird. Dann entschichten wir, bearbeiten mechanisch, reinigen und beschichten erneut.
Nach Zusammenbau und Dichtheitsprüfung sieht der Mattson nicht nur aus wie neu, sondern funktioniert auch wieder so.

Zerlegung in Einzelteile

Beschichtungsdegradierungen und mechanische Beschädigungen an allen Teilen

Vor Refurbishment

Nach Refurbishment

Finale Dichtheits- und Qualitätsprüfung

Sowohl die überarbeiteten Mattson Reaktoren SHS 2900, als auch die Lampenhäuser werden nach erfolgter Reparatur und Zusammenbau einem zusätzlichen, speziellen Hochtemperatur-Wasserdruck-Dichtigkeitstest unterzogen. Hierbei werden reale Arbeitsbedingungen simuliert: auf 90 °C erhitztes Wasser wird 24 Stunden lang mit 5 bar Druck in die Röhren und Kühlleitungen gepumpt. Die Wassertemperatur variiert dabei zwischen 20 und 90 °C. Mögliche Lecks werden dadurch aufgespürt und können beseitigt werden. Das garantiert höchste Qualität und bestmögliche Funktionstüchtigkeit.

REFURBISHMENT VON AMAT REFLEKTORPLATTEN

Reflexion und Prozesssicherheit ohne Kompromisse

Im Rahmen der Überarbeitung werden Ihre gebrauchten Reflektorplatten entschichtet, poliert und neu beschichtet. Der Reparaturprozess stellt das maximale optische Reflexionsvermögen in den wichtigen, relevanten Wellenlängen-Bandbreiten wieder her. Wir haben eine optimierte, spezielle Multilayer-Beschichtung entwickelt wobei wir penibel darauf geachtet haben, dass auf jeden Fall nur Materialien benutzt werden, die in der OEM-Spezifikation enthalten sind, damit keine neuen Substanzen in Ihre Prozess-Kammer gelangen. Das Beschichtungsdesign und die verwendete Technologie garantieren extrem homogene, konsistente und langlebige Beschichtungen und ihre Haltbarkeit verhindert vorzeitiges Abblättern und/oder Korrosion.

Vor
Refurbishment

Nach
Refurbishment

REFURBISHMENT VON RTP KUGELLAGERN FÜR AMAT RTP XE

Eine runde Sache

Die Oberfläche des Führungslagers wird oft zerkratzt, wodurch die Keramikkugeln die PVD-Beschichtung und dann auch die darunter liegende Oberfläche beschädigen. Dadurch geraten der Rundlauf sowie der axiale Seitenlauf des Lagers aus den Toleranzen. Ein hoher Geräuschpegel und Partikelbildung sind ebenfalls eine Folge. amcoss bietet neue Kugellager (Second Source) sowie exclusive Refurbishments (Entschichtung, mechanische Bearbeitung, Polieren, PVD-Neubeschichtung, die exakt der OEM Beschichtung entspricht) – beides zu sehr attraktiven, konkurrenzlosen Preisen. Die Parameter und Qualität unserer Kugellager entsprechen mindestens der einer OEM-Komponente, sind jedoch deutlich nachhaltiger.

KALIBRIERUNG VON
TEMPMATCH TOOL & SEKIDENKO 2000

Für Inspektionen mit höchster Präzision

Wir kalibrieren folgende Inspektionstools für AMAT Centura XE und Radiance (+)

Tempmatch Tool

Radiance (+) Tester

Sekidenko 2000

Zuerst prüfen wir, ob irgendwelche optischen oder elektrischen Teile degradiert sind und tauschen sie wenn nötig aus. Danach führen wir exakte Messungen und Kalibrierungen auf verschiedenen Testvorrichtungen und mit dem Hilfe unserers hauseigenen “Black-Body-Ofens” aus. Diese Prozedur garantiert Ihnen die beste Qualität unseres Services. Am Schluss unseres Refurbishmentprozesses erstellen wir für jedes aufgearbeitete und kalibrierte Tool einen individuellen Testbericht, der mit dem Gerät zum Kunden geht. Für unseren Service zahlen Sie deutlich weniger, als für eine Überarbeitung durch den OEM.

Hausinterner Teststand für die Tempmatch Tool Kalibrierung

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