Rapid Thermal Processing
Genauso gut wie vom OEM

Wir bieten neue Teile, wie Kugellager für AMAT XE, Saphirfühler und Goldhülsen sowie mechanische bzw. chemische Refurbishments und Neubeschichtungen von RTP-Komponenten und kalibrieren Inspektionstools. Am Ende erhalten Sie eine Komponente, die in Bezug auf die Leistungsfähigkeit einer OEM-Komponente in nichts nachsteht, jedoch deutlich nachhaltiger und wirtschaftlicher ist.

ENGINEERING-KOMPONENTEN & NEUTEILE

Beschaffungslösungen im Rapid Thermal Processing

Auch im Bereich RTP können wir eine Auswahl an hochprofessionellen Neuteilen bieten. Gerade bei Komponenten, wie dem Kugellager für AMAT XE, das der OEM aufgekündigt hat und nicht mehr liefert, kann das eine echte, teilweise auch die einzige Problemlösung für unsere Kunden sein. Es erleichtert die Beschaffung bzw. ermöglicht sie eventuell erst und erweitert die Lebensdauer vorhandener Maschinen.

Wir offerieren folgende RTP-Neuteile

Obere-und-untere-Kugellager-fuer-AMAT-XE

Obere & untere Kugellager für AMAT XE

Goldhuelsen-fuer-Lampenhaus

Goldhülsen für Lampenhaus

Saphirfühler

AMAT-Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nummer
Upper Race RTP XE 0020-39360
Lower Race RTP XE 0020-39361
Upper & lower Race (komplett) 0010-19534
Hülse 33,6 mm 0021-36086 (goldbeschichtet)
Hülse 16,8 mm 0021-35055 (goldbeschichtet)
Temp Probe Sapphire Pin RTP XE
Sapphire Ligth Pipe for Pyro
0010-15563/0190-35974
300 mm Radiance 0010-18024

REFURBISHMENTS & REPARATUREN

Gebrauchte RTP-Komponenten wie neu

Komponenten, die im Rapid Thermal Processing eingesetzt werden, sind extremen Bedingungen und Belastungen ausgesetzt, so dass sie schnell degradieren. Zusätzlich sind ihre Strukturen meistens sehr komplex in Bezug auf Form, Aufbau und/oder Zusammensetzung von Beschichtungen, was sachgemäße Aufarbeitungen schwierig macht. Die Anlagenhersteller bieten ihren Kunden häufig nur sehr teure Neuteile und überhaupt keine Reparaturen an. Hier kommt amcoss in Spiel – bei uns erhalten Sie einen Reparaturservice auf höchstem Niveau!

Wir überarbeiten die folgenden Komponenten:

Lampenhaus silber

Lampenhaus für AMAT Xe & Mod1

Mattson Reaktor SHS2900

Reflektorplatte a

Reflektorplatten für AMAT XE, Radiance, Mod1

Obere-und-untere-Kugellager-fuer-AMAT-XE

Obere & untere Kugellager für AMAT XE

Und wir kalibrieren

  • Tempmatch Tools für Centura, Radiance und Radiance+
  • Sekidenko 2000

RTP als Teil der Kreislaufwirtschaft betrachten

„Circular Economy“ ist in aller Munde. Auch die EU-Abfallrahmenrichtlinie hat den Übergang zur Kreislaufwirtschaft als Ziel. Wiederverwerten statt wegschmeißen heißt die Devise. Möglichst viele Produkte, Inhaltsstoffe etc. sollen in den Wiederverwertungskreislauf einfließen, anstatt in einer Einbahnstraße mit Müllbergen an ihrem Ende zu landen – und das auf allen Ebenen der an den Wirtschaftsprozessen Beteiligten. Selbstverständlich ist dies auch beim Rapid Thermal Processing ein großes Thema, da hier im Prozess verwendete Komponenten teils sehr stark und schnell degradieren und entweder ersetzt oder hochprofessionell aufbereitet werden müssen. Mit unseren Refurbishments von RTP-Komponenten unterstützen wir Sie also nicht nur dabei, Ihre Kosteneffizienz zu steigern, sondern vor allem auch darin, einen Beitrag zum Recycling zu leisten, Ressourcen zu schonen und somit insgesamt Ihre Umweltbilanz zu verbessern.

KOMPLETTE SANIERUNG VON RTP LAMPENHÄUSERN

Komplex, zuverlässig, rentabel

Undichte Schweißnähte, mechanische Schädigungen, Haarrisse, chemische Ablagerungen und Oberflächenbeschädigungen führen zu einer Reduzierung der Funktionstüchtigkeit von Lampenhäusern. Obwohl die Aufbereitung eines Lampenhauses aufgrund seines komplexen Aufbaus ein ziemlich herausfordernder Prozess ist, hat amcoss ein professionelles Refurbishment entwickelt. Unsere Experten führen dabei verschiedenste Prozessschritte, wie chemische Reinigungen, Dichtigkeitsprüfungen, mechanische Bearbeitungen sowie Austausch und Schweißen von beschädigten Teilen, durch. Das Ergebnis ist ein instandgesetztes, voll funktionstüchtiges Lampenhaus, das sehr viel weniger kostet, als ein neues.

Lampenhaus liegend

Lampenhaus AMAT Artikelnummern

0040-36026
0040-35966 (goldbeschichtet)
Lampenhaus vor Refurbishment

Vor Überarbeitung

Lampenhaus nach Refurbishment

Nach Überarbeitung

Lampenhaus-Hülse vor und nach Refurbishment

Lampenhaus-Hülsen

REPARATUR VON MATTSON REAKTOREN SHS 2900

Auf Beschichtungsqualität und Dichtheit kommt es an

Ein Mattson Reaktor ist ein komplexes Konstrukt. Aufgrund hoher Beanspruchung degradiert die Gold­beschichtung und kommt es zu undichten Stellen. In einem aufwendigen Prozess zerlegen wir den Reaktor zunächst komplett in seine Einzelteile, wo erst das gesamte Ausmaß der Beschädigungen sichtbar wird. Dann entschichten wir, bearbeiten mechanisch, reinigen und beschichten erneut.
Nach Zusammenbau und Dichtheitsprüfung sieht der Mattson nicht nur aus wie neu, sondern funktioniert auch wieder so.

Mattson Reaktor freigestellt seitlich

Mattson Zerlegung in Einzelteile

Zerlegung in Einzelteile

Mattson

Beschichtungsdegradierungen und mechanische Beschädigungen an allen Teilen

Vor Refurbishment

Vor Refurbishment

Nach Refurbishment

Nach Refurbishment

Finale Dichtheits- und Qualitätsprüfung

Sowohl die überarbeiteten Mattson Reaktoren SHS 2900, als auch die Lampenhäuser werden nach erfolgter Reparatur und Zusammenbau einem zusätzlichen, speziellen Hochtemperatur-Wasserdruck-Dichtigkeitstest unterzogen. Hierbei werden reale Arbeitsbedingungen simuliert: auf 90 °C erhitztes Wasser wird 24 Stunden lang mit 5 bar Druck in die Röhren und Kühlleitungen gepumpt. Die Wassertemperatur variiert dabei zwischen 20 und 90 °C. Mögliche Lecks werden dadurch aufgespürt und können beseitigt werden. Das garantiert höchste Qualität und bestmögliche Funktionstüchtigkeit.

REFURBISHMENT VON AMAT REFLEKTORPLATTEN

Reflexion und Prozesssicherheit ohne Kompromisse

Im Rahmen der Überarbeitung werden Ihre gebrauchten Reflektorplatten entschichtet, poliert und neu beschichtet. Der Reparaturprozess stellt das maximale optische Reflexionsvermögen in den wichtigen, relevanten Wellenlängen-Bandbreiten wieder her. Wir haben eine optimierte, spezielle Multilayer-Beschichtung entwickelt wobei wir penibel darauf geachtet haben, dass auf jeden Fall nur Materialien benutzt werden, die in der OEM-Spezifikation enthalten sind, damit keine neuen Substanzen in Ihre Prozess-Kammer gelangen. Das Beschichtungsdesign und die verwendete Technologie garantieren extrem homogene, konsistente und langlebige Beschichtungen und ihre Haltbarkeit verhindert vorzeitiges Abblättern und/oder Korrosion.

Reflektorplatte bReflektorplatte-Rueckseite

Reflektorplatten AMAT Artikelnummern

Beschreibung Für Maschine OEM-Nummer
Reflector Plate Refurbish AMAT RTP XE 0021-35008
Reflector Plate 300 mm Refurbishment AMAT RTP XE 0040-63694/
0040-44027
Refurbishment Reflector Plate BPSG 200mm XE AMAT RTP XE 0021-39570
Refurbishment Reflector Plate Radiance 200 mm AMAT Radiance 0020-08621
Refurbishment Plate, Reflector, 200mm XE, Corrosion RE AMAT RTP XE 0021-03721
Reflector Plate 300 mm Radiance Refurbishment AMAT Radiance 0040-70629
Reflector Plate 300 mm Refurbishment AMAT Radiance 0041-06278
Reflector Plate 300 mm Refurbishment AMAT RTP XE 0041-12192
Refurbishment of Reflector Plate Chamber Bottom AMAT Mod 1 0021-35163
Reflector Plate 300 mm Refurbishment AMAT Radiance 0041-12156
Refurbishment of Reflector Plate 300mm AMAT Radiance 0041-12179
Reflector Plate 300 mm Refurbishment AMAT Radiance 0041-27029
Reflector Plate 200mm Refurbish AMAT XE 0021-35009
Reflector Plate 12″ 0351G BesSun AP
Vor
Refurbishment


Nach
Refurbishment


Reflexionschart Reflektorplatten

REFURBISHMENT VON RTP KUGELLAGERN FÜR AMAT RTP XE

Eine runde Sache

Die Oberfläche des Führungslagers wird oft zerkratzt, wodurch die Keramikkugeln die PVD-Beschichtung und dann auch die darunter liegende Oberfläche beschädigen. Dadurch geraten der Rundlauf sowie der axiale Seitenlauf des Lagers aus den Toleranzen. Ein hoher Geräuschpegel und Partikelbildung sind ebenfalls eine Folge. amcoss bietet neue Kugellager (Second Source) sowie exclusive Refurbishments (Entschichtung, mechanische Bearbeitung, Polieren, PVD-Neubeschichtung, die exakt der OEM Beschichtung entspricht) – beides zu sehr attraktiven, konkurrenzlosen Preisen. Die Parameter und Qualität unserer Kugellager entsprechen mindestens der einer OEM-Komponente, sind jedoch deutlich nachhaltiger.

Obere-und-untere-Kugellager-fuer-AMAT-XE-1

Kugellager AMAT Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nummer
Upper Race RTP XE 0020-39360
Lower Race RTP XE 0020-39361
Upper & lower Race (komplett) 0010-19534

Vor Refurbishment

Nach Refurbishment

kugellager-vorher-nachher

RTP-Kugellager-Detail-vor-nach-Refr

KALIBRIERUNG VON
TEMPMATCH TOOL & SEKIDENKO 2000

Für Inspektionen mit höchster Präzision

Wir kalibrieren folgende Inspektionstools für AMAT Centura XE und Radiance (+)

Tempmatch Tool 1

Tempmatch Tool

Radiance Tester

Radiance (+) Tester

Sekidenko 2000

Sekidenko 2000

Zuerst prüfen wir, ob irgendwelche optischen oder elektrischen Teile degradiert sind und tauschen sie wenn nötig aus. Danach führen wir exakte Messungen und Kalibrierungen auf verschiedenen Testvorrichtungen und mit dem Hilfe unserers hauseigenen “Black-Body-Ofens” aus. Diese Prozedur garantiert Ihnen die beste Qualität unseres Services. Am Schluss unseres Refurbishmentprozesses erstellen wir für jedes aufgearbeitete und kalibrierte Tool einen individuellen Testbericht, der mit dem Gerät zum Kunden geht. Für unseren Service zahlen Sie deutlich weniger, als für eine Überarbeitung durch den OEM.

Tempmatch Tool Teststand

Hausinterner Teststand für die Tempmatch Tool Kalibrierung

Tempmatch Tool 2

AMAT Inspektionstools Artikelnummern

Tempmatch tool

Beschreibung OEM-Nummer
für Centura XE 0242-34144, 0242-24658
für Centura Radiance (+) 0242-45555, 0242-34148

Sekidenko 2000

Beschreibung OEM-Nummer
K1-3 für Centura XE 0190-36523
K1-4 für Centura XE 0190-36524

RTP AMAT Artikelliste

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