Fotolitho­grafie
Qualitätsoptiken und -komponenten
vom Spezialisten

Besonders im Bereich der Fotolithografie zeigt sich die amcoss-Vielseitigkeit – für unsere Kunden reparieren und refurbishen wir mit großem Sachverstand eine Vielzahl an optischen, mechanischen und elektromechanischen Komponenten und Geräten und entwickeln Engineering-Lösungen für individuelle Neuteile nach Kundenwunsch.

Überblick

Unser Portfolio in der Fotolithografie

Egal ob Neuteil oder durchdachte Reparatur – wir finden fast immer einen Weg, auch für außergewöhnliche und nicht gerade gängige Herausforderungen, bei denen andere an ihre Grenzen stoßen oder vom OEM keine Unterstützung zu erwarten ist. Auf dieser Seite geben wir Ihnen eine Überblick darüber, was bei uns im Bereich der Komponenten für die Fotolithografie möglich ist. Alles können wir natürlich nicht zeigen. Finden Sie also Ihr Produkt hier nicht, dann fragen Sie uns persönlich danach. Wir prüfen, was wir für Sie tun können.

Unsere Services in diesem Bereich bieten wir hauptsächlich für Komponenten von folgenden OEM: ASML, Canon, Nikon, Ultratech, Axcellis, TEL, DNS, Wafertec

ENGINEERING-KOMPONENTEN & NEUTEILE

Kundenspezifische Lösungen

Bei optischen Komponenten haben unsere Kunden oft sehr spezifische Anforderungen und benötigen Teile, die genauestens zu den Leistungsdaten der jeweiligen Maschine passen. Wir konstruieren, zeichnen, berechnen, simulieren, produzieren und messen, so dass Sie von uns individuelle Lösungen erhalten, die der OEM meist nicht bietet.

Wir konstruieren und bauen neue

  • Filter
  • Linsen
  • Spiegel
  • Wafer-Chucks
  • und bieten Glas-Wafer in zahlreichen Spezifikationen

REFURBISHMENTS & REPARATUREN

Nachhaltig, rentabel und effizient

Es rentiert sich, Teile aus der Fotolithografie zu reparieren – allerdings braucht man das notwendige, sehr fundierte Expertenwissen und ausgetüftelte Möglichkeiten. Wir von amcoss haben diese Voraussetzungen und bieten Refurbishments vom Feinsten.

Wir überarbeiten

  • Optische Komponenten (Linsen, Filter, Spiegel, Reflektoren, Gläser, Fenster)
  • Canon Stepper Chucks und Tables
  • HeNe Laser für Interferometer & Alignment-Systeme (z.B. Zygo, HP, Melles Griot)
  • Spinmotoren
  • Andere mechanische, elektromechanische und mechatronische Komponenten (z.B. Lampenhäuser, Lacktemperiergeräte, Keramikarme, Prozesstöpfe, Düsen, Hotplates, etc.)
  • Wafertec Lackpumpen

Weiterverwenden anstatt aussortieren

Mit unseren Serviceleistungen unterstützen wir Sie dabei, die Nachhaltigkeit der Produktion in der Fotolithografie zu verbessern, denn wir sorgen dafür, dass auch ältere Maschinen und Systeme, für die der OEM keinen Support mehr anbietet, weiterverwendet werden können und sich deren Lebensdauer verlängert. Auch die Kosteneffizienz wird verbessert, da eine Reparatur bzw. ein Engineering bei uns deutlich günstiger ist, als ein Nach- oder Neukauf. Nicht außer Acht zu lassen ist auch der Aspekt der Müllvermeidung: nicht nur die Komponenten selbst, sondern die gesamten Anlagen werden vor der Verschrottung bewahrt.

REFURBISHMENT & ENGINEERING VON LINSEN VON CANON & NIKON

Optimierte Transmission & Uniformität

Für eine Vielzahl unterschiedlicher Linsen bieten wir eine optische und je nach Linsenmodell auch mechanische Überarbeitung bzw. Neukonstruktion und Neubau gemäß Ihren Vorgaben. Vor Auslieferung vermessen wir selbstverständlich alle Linsen in unserem hauseigenen Labor auf Uniformität, Intensität, Transmission und Reflexion. Daten aus den Kundenmaschinen, gemessen unter realen Bedingungen vor Ort im Produktionsprozess, bestätigen und garantieren zusätzlich die Verlässlichkeit unserer Überarbeitung. Viele Hundert erfolgreich durchgeführte Linsen-Refurbishments und -engineerings zeugen von dieser amcoss-Qualität.

1st Condenser Upper Linse

Canon 3rd Condenser Linse

3rd Condenser Linse

Canon Linse 2nd Condenser

2nd Condenser Linse

Zylinder Zoom Linse

Zylinder-Zoomlinse

1st Condenser Lower Linse

1st Condenser Lower Linse

Nikon Relaislinse

Relaislinse

Belichtungslinse

Belichtungslinse

Korrektorlinse

Korrektorlinse

Konvexlinse

Konvexlinse

Andere Linsen:

  • Input-Linse
  • Fly-Eye-Linse
  • Strahlexpanderlinse
  • 1st Condenser Main Linse
  • 2nd Zoomlinse

FILTER, SPIEGEL/REFLEKTOREN UND GLÄSER

Signifikante Verbesserung der optischen Eigenschaften

Auch im Bereich der Filter, Spiegel, Reflektoren und Gläser bieten wir Ihnen nicht nur Highend-Refurbishments, sondern auch Engineering-Services für kundenspezifische Lösungen.

Wir überarbeiten bzw. konstruieren diese Optikteile nach präzisen Vorgaben des Kunden, die bei Filtern auf den jeweiligen Maschinendaten beruhen. Entsprechend werden die Beschichtungsdaten der Filter kundenspezifisch berechnet und jedes Teil erhält seine individuelle Beschichtung sowie andere notwendige, auch mechanische Bearbeitungen. Anschließende Messungen zeigen, dass die – je nach Komponente relevanten – optischen Eigenschaften, wie Intensität und Uniformität, signifikant verbessert werden und auch der zukünftige Verschleiß sehr gering ist.

I-line Filter

I-Line Filter

Hohlspiegel

Hohlspiegel

Gradientenfilter

Gradientenfilter

Interferenzfilter

Interferenzfilter

Deckglas

Deckglas

Umlenkspiegel

Umlenkspiegel

Dichroitischer Spiegel

Dichroitischer Spiegel

Ellipsoidspiegel

Ellipsoidspiegel

Außerdem:

  • Planspiegel
  • Gläser
  • Spezialfilter
  • Halb-Spiegel
  • ND Filter
  • Shutter mirror
  • Uniformitätsfilter
  • Breitbandfilter
  • Depolarisator
  • UV-Blocker-Filter
  • RPF / FRA / ISS Filter

amcoss Teile in Canon FPA 3000 Optiken

amcoss Teile in Canon FPA 3000 Optiken

amcoss Teile für Canon FPA 3000 i4/i5 AA/FRA Optiken

amcoss-Teile-fuer-Canon-FPA-3000-i4i5-AAFRA-Optiken

amcoss Teile in Nikon Body i8 – i12 Optiken

amcoss Teile in Nikon Body i8 i12 Optiken

ELEKTROMECHANISCHE GERÄTE & MECHANISCHE KOMPONENTEN

Voll funktionstüchtig – Reparaturen garantiert
vom Fachmann

Mit fundiertem Know-how führen unsere Experten seit vielen Jahren elektronische und mechanische Reparaturen an diversen elektromechanischen und mechanischen Komponenten und Geräten für die Fotolithografie durch.

Nach einem Eingangscheck und eingehender Reinigung tauschen sie alle defekten Teile aus. Die Geräte werden nach erfolgter Reparatur, wenn nötig, mit speziellen, hausinternen Testausrüstungen gemessen, getestet, präzise eingestellt und gegebenenfalls auch kalibriert. Sie erhalten eine betriebsbereite, verlässliche Komponente, die genauso gut funktioniert, wie eine neue.

Zygo Laser

HeNe Laser

Motor-Driver

Motortreiber

Motor-Controller

Motorkontroller

Spin Motor

Spinmotoren

Shutter

Shutter

Thermo-Kontroller

Thermo-/Temperatur-Kontroller

Spot Cure

Spot Cure/Lampenhaus

Lichtleiter

Optische Lichtleiter

Belackungstopf

Prozesstöpfe

Waferarm

Wafer-Handler/-Arme

Außerdem

  • Diverse andere Motoren
  • Lacktemperiergeräte
  • Chucks
  • Düsen
  • Heat Exchanger/Heat Exchanger Controller
  • Hotplate
  • Shutter-Spiegel
  • Canon I-Line Netzteil

CANON STEPPER CHUCKS

Bestmögliche Ebenheit unabhängig von der
Oberflächenstruktur

Canon Stepper Chuck

Wir refurbishen die Vorder- und Rückseite von Canon Stepper Exposure Pin und Ring Chucks. Sie können bei uns außerdem die Entwicklung und Konstruktion kundenspezifischer Chucks in Auftrag geben.

Canon Pin Chuck

Canon Pin Chuck

Canon Ring Chuck

Canon Ring Chuck

Kundenspezifischer Spezialchuck

Kundenspezifischer Spezialchuck

Refurbishment-Prozess

Zuerst wird gecheckt, ob Flecken, Kratzer und vor allem Risse und Abplatzungen überhaupt reparierbar sind und sich der Aufwand für Sie lohnt.

Vor, während und nach der Reparatur wird die Ebenheit des Chucks mittels Interferometer präzise gemessen. Wir bearbeiten den Chuck so lange für Sie, bis der bestmögliche PV-Wert (Peak-to-Valley-Wert), der die Ebenheit angibt, erreicht ist.

Vor Refurbishment: Kratzer und Flecken auf der Oberfläche

chuck-vor-refurbishment
Peak to valley Grafik vor refurb

Nach Refurbishment:
Homogene Oberfläche

chuck-nach-refurbishment
Peak to valley Grafik nach refurb

Neue Chucks mit kundenspezifischem Design made by amcoss

Wir konstruieren und realisieren auch neue Chucks mit Ihrem individuellen Design aus verschiedensten Materialien, wie z.B. Siliziumkarbid und CTE Glass.

Beispiel: Pin Chuck mit kundenspezifischen Anpassungen

kundespezifischer-chuck
kundenspezifischer Pin Chuck 2
kundenspezifischer Pin Chuck 3

REFURBISHMENT & REPARATUR VON WAFERTEC PUMPEN

Vergessen Sie die Suche nach alternativen
Pumpen-Anbietern

amcoss bietet Überarbeitungen Ihres defekten Wafertec Dispenssystems (Modelle F30, F32, F1 und S30), so dass es hinterher so präzise und verlässlich arbeitet, wie eine neue Pumpe. So sorgen wir für eine perfekte und kostenattraktive Lösung, die nicht nur die Lebensdauer Ihres Wafertec-Systems, sondern gleichzeitig die Ihrer gesamten Prozessausrüstung verlängert.

Wafertec F30 10931 klein

F30

Wafertec Controler 10936

Controller

Wafertec S30 10939 klein

S30

Vorteile

  • Attraktiver Preis, weil eine Reparatur günstiger ist
  • Lebensdauerverlängerung Ihrer Ausrüstung
  • Bereits qualifiziert und somit direkt in Ihren etablierten Prozessen einsetzbar
  • Einfaches Sourcing
  • Geringe Ausfallzeiten Ihrer Prozessanlage, somit zeit- und kostensparend
  • 1 Jahr Garantie auf ausgetauschte Teile
Wafertec Vor Reparatur

Vor Überarbeitung

Nach Überarbeitung

Nach Überarbeitung

Download Wafertec Refurbishment Flyer

Spezielle Glas-wafer

Entdecken Sie unsere große Vielfalt an Spezifikationen

Flexibilität bei der Lieferung von Glas-Wafern ist unser Steckenpferd! Dabei sprechen wir nicht von Standardprodukten, sondern wir liefern Ihnen herstellerunabhängig genau die Wafer, die Sie haben müssen – Veredelungsverfahren (z.B. Dünnfilmbeschichtungen) und Wafer-Beschriftungen inklusive.

Glaswafer invertiert klein

Wir bieten Ihnen auch sehr spezielle Spezifikationen in Bezug auf:

  • Waferdicke: extrem dünne Wafer (Bsp. Φ200 ×t0.17mm)
  • Größe/Form: viele verschiedene Größen (Außendurchmesser) und Formen möglich (auch Lochung, Fasen, Kerben, Flat-Orientierung etc.)
  • TTV (Total Thickness Variation): größte Genauigkeit, geringste Dickenabweichungen (Bsp.: bei 8“ TTV = 0.430 μm, gemessen mit Interferometer)
  • Oberflächenrauheit und –ebenheit: extrem glatte und ebene Oberflächen durch doppelseitiges Schleifen und Läppen mit abrasiven Pulvern
  • Kantenbearbeitung: Kantenprofilierung für unterschiedliche Kantenformen und -schliffe für optimal glatte Kantenoberflächen

Verfügbare Materialien:

  • Verschiedene Silizium-Gläser (synthetisch, Kieselglas…)
  • Verschiedene nicht-alkalische Gläser (z.B. Eagle, BF33, …)
  • Quarz-Gläser
  • Optische Gläser
  • Glas mit niedriger thermischer Ausdehnung (low expansion glass)
  • Teilkristalline Gläser (Glas-Keramik)
  • Kalknatrongläser
  • Floatgläser (mit Ausdehnungskoeffizient wie z.B. Silizium)

Canon Artikelliste
Nikon Artikelliste
ASML Artikelliste
Ultratech Artikelliste

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