Plasma
Second Source sowie
Engineering in First Class

Wir vereinfachen die Beschaffung von Komponenten für Plasmaverfahren in der Wafer-Produktion, indem wir Ihre Verfügbarkeit unabhängig vom Originalhersteller gewährleisten – mit kürzeren Lieferzeiten, geringeren Kosten und fundiertem Expertenwissen. Auch kundenspezifisches Engineering, genau nach individuellen Wünschen, gehört zu unserem Repertoire in diesem Feld.

Überblick

Unsere Produktpalette im Bereich der Plasmaverfahren

Horrende Beschaffungskosten, inakzeptable Lieferzeiten, null Verfügbarkeit von Originalersatzteilen und kein Angebot an Reparaturen – so sieht es im Sourcing von Spezialkomponenten für Plasmakammern und –verfahren häufig aus. Gut, wenn man dann auf einen Anbieter zurück greifen kann, der einerseits das notwendige Know-how über Materialien, Herstellungsverfahren und Anforderungen hat, um das individuelle Engineering von Komponenten gemäß Kundenbedarf anbieten zu können und bei dem Sie andererseits Second-Source-Komponenten, die den Originalteilen in Bezug auf Qualität und Funktionalität in nichts nachstehen, erhalten.

Wir bieten

  • Elektrostatische Chucks (Refurbishments und Neuteile)
  • ISO-Heizplatten
  • DSQ-Heizplatten
  • Standard-Keramikkomponenten (und zugehörige Teile) von AMAT und LAM (Second-Source)
  • Keramik-Spezialteile

Fähigkeiten zu Ihrem Vorteil nutzen

Verantwortungsbewusst, nachhaltig zu agieren bedeutet nicht, nur die offensichtlichen Aspekte des Umweltschutzes im Blick zu haben. Vielmehr betrifft dies alle Bereiche der Geschäftstätigkeit, das große Ganze. Es bedeutet auch, sorgfältig mit Geld umzugehen, Lebenszyklen zu verlängern, Qualität zu erhöhen, Fähigkeiten zu nutzen. Unsere Fähigkeit, Ihnen die hier aufgezählten Komponenten unkompliziert zu beschaffen, bringt Ihnen

  • eine spürbare Kostenreduktion
  • kurze Lieferzeiten für reduzierte Standzeiten
  • höchste Qualität für optimale Prozesse
  • eine verlängerte Lebensdauer älterer Anlagen

REFURBISHMENT VON ESC-CHUCKS VON LAM

Voll funktionstüchtig und dicht

Wir offerieren Spezialrefurbishments für die sogenannten ESC Perimeter Lifter (6“ und 8“) von LAM Research. Sobald wir einen defekten ESC Chuck erhalten, starten wir eine Analyse, um die Ursache der Funktionsstörungen bzw. Undichtheit herauszufinden. In verschiedenen Tests und Messungen checken wir, ob die Keramikschicht auf der Chuck-Oberfläche beschädigt ist oder eine schlechte Ebenheit aufweist, ob die Dichtungs- bzw. Haftvermittler-Schicht zwischen Metallchuck und Keramikschicht undicht ist oder ein elektrisches Problem mit den Elektroden besteht. Je nach Ergebnis wird der Chuck gezielt bearbeitet. Nach eingehender Endkontrolle erhalten Sie einen Perimeter Lifter, der wieder wie neu funktioniert und absolut dicht ist. Wir haben namhafte Kunden, die seit vielen Jahren regelmäßig auf unser ESC Chuck-Refurbishment vertrauen und so von der Qualität unserer Überarbeitungen zeugen.

ESC Chuck

Vor Refurbishment

Nach Refurbishment

ESC Chuck Vorderseite vor nach Ref 2

Vorderseite

ESC-Chuck-Rueckseite-vor-nach-Ref

Rückseite

Elektrostatische Chucks OEM-Artikelnummern (Refurbishment)

Beschreibung OEM-Nummer
8” ESC Perimeter Lifter 839-440462-508
6” ESC Perimeter Lifter 839-440462-306

Elektrostatische Chucks

Qualität, Funktion & Design ohne Kompromisse

Neben den Chuck-Refurbishments bieten wir auch rentable Ersatz-Chucks für die Durchmesser 150 mm und 200 mm für LAM Research 9400, 9600, Rainbow und Alliance Ätzplattformen an, die in jeder Hinsicht überzeugen: Sie erhalten einen Chuck, der in Qualität, Funktion und Design zu 100% dem Originalprodukt entspricht und somit garantiert keine Veränderung im Herstellprozess bewirkt. Die einzigen positiven Veränderungen, die Sie zu spüren bekommen sind die deutlich niedrigeren Preise und die schnelle Lieferung! Das bedeutet für Sie eine verbesserte Produktivität, erhöhte Wirtschaftlichkeit, kürzere Reaktionszeiten und mehr Planungssicherheit.

ESC Chuck

Chuck für TCP9600 – Vorderseite

ESC-Chuck-2-Rueckseite

Chuck für TCP9600 – Rückseite

ESC-chuck-2-Vorderseite

Chuck für Alliance -Vorderseite

Chuck für Alliance -Rückseite

Elektrostatische Chucks OEM-Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nummer
ESC 6ʺAlliance 4420XL Poly Etch 718-043893-602
ESC 6ʺRainbow TCP9600 Alu-Etch 718-043893-612
ESC 8ʺ Alliance 9400/9600 PTX 718-043893-801
LAM ESC 8ʺ (neu) 718-043893-818
ESC TCP9600 Metal 6” 718-092326-061
ESC PTX9400 Poly 6” 718-094523-261
ESC PTX9400 Poly 8” 718-094523-281
ESC TCP9600 SE Metal ELECTD, UPPR, 6ʺ ESC, MJR FLA, NEW 718-094756-061
ESC TCP9600 Metal 8” 718-094756-081

DSQ- und ISO-Heizplatten

Immun gegen Oberflächenbeschädigungen

DSQ-Heizplatte

DSQ-Heizplatte

ISO-Heizplatte

ISO-Heizplatte

In unsere Heizplatten haben wir eine intelligente Problemlösung gleich miteingebaut: die Heizdrähte werden fix in die Aluplatte eingelassen und sind somit perfekt geschützt – ganz im Gegenteil zu konventionellen Heizplatten, bei denen eine externe Heizfolie lediglich auf die Rückseite aufgeklebt wird. was sie sehr anfällig für Beschädigungen, wie Kratzer oder Abrieb macht. Bei unseren amcoss Heizplatten mit integrierten Heizdrähten kann mechanische Reibung auf der Oberfläche den Drähten nichts anhaben. Das verlängert Kontroll- und Austauschzyklen, erhöht die Lebensdauer und reduziert somit Kosten!

DSQ Heizplatte Rueckseite

Integrierte Heizdrähte auf der Plattenrückseite

DSQ-Heizplatte-Vorderseite

Vorderseite

Bei den DSQ-Heizplatten kommt noch das Problem der Verformung aufgrund der enormen Aufheizung der Platten auf bis zu 280 °C während des Plasmaprozesses dazu. Da dann die Gleichförmigkeit nicht mehr gewährleistet ist, werden zwangsläufig die Wafer ungleich erhitzt und verascht.
amcoss DSQ-Paddle haben im Vergleich zu herkömmlichen Heizplatten eine verbesserte, innovative Formgebung. Sie verringert und verzögert die Verwerfung deutlich. Eine wesentlich längere und bessere Homogenität der Platte mit allen positiven Effekten ist die Folge.

Heizplatten für DSQ-Kammern OEM-Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nummer
Paddle 5” THR Assy High temp 853-347146-004
Paddle 5” THR Assy High temp 853-347146-005
Paddle 6” THR Assy High temp 853-347146-006
Paddle 8” THR Assy High temp 853-347146-008

Heizplatten für ISO-Kammern OEM-Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nummer
Paddle 4” HTR Assy 853-021917-004
Paddle 5” HTR Assy 853-021917-005
Paddle 6” HTR Assy 853-021917-006
Paddle 8” HTR Assy 853-021917-108
Paddle 6ʺ ISO-HTR ASSY853, IMPRV. HEATER 853-021916-006

Keramikteile

Vielfältige Engineering-Lösungen und Second-Source-Komponenten

Wenn Sie einen Lieferanten suchen, der keramische Spezialteile für die Halbleiter-, Elektronik- und andere Industrien gemäß individueller Kundenspezifikation in kleinen Stückzahlen und dennoch in höchster Qualität bietet, sind Sie bei amcoss genau richtig. Nach Ihren Vorgaben konstruieren und zeichnen wir komplexe Baugruppen aus unterschiedlichen Material-Zusammenstellungen (Keramik – Keramik, Keramik – Metall, Keramik – Kunststoff), veranlassen und überwachen die Produktion.

  • Aluminium-Oxid Al2O3
  • Aluminium-Nitrid AlN
  • Zirkonoxid ZrO2
  • Quarz SiO2
  • Saphir
  • Graphit
  • Poröse Keramiken
Keramikhuelse

Keramikhülse

Keramikstift

Keramikstift

Zirkonoxid Ring (1)

Zirkonoxid-Ring

Quarzring

Quarzring

Keramikarm

Keramikarm

Quarzhuelse

Quarzhülse

RF Keramik-Window

RF Keramik-Window

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