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CVD/EPI
Neuer Glanz für Reflektoren

Das intensive Verfahren des Chemical Vapour Deposition lässt mechanische und optische Komponenten besonders stark degradieren. Mit fundiertem Know-how und solidem Wissen über die Reparaturmöglichkeiten stellen wir die Reflexionskapazität, Lichtintensität und Uniformität von Reflektoren und anderen Komponenten verlässlich wieder her.

Überblick

Unsere Services im Bereich CVD/EPI

Die Beschaffung von CVD/EPI-Spezialteilen ist leider sehr teuer und ein Austausch daher kostspielig.
Reparaturen sind kompliziert und somit braucht man dafür fundiertes Know-how, das nur wenige haben und spezielle Verfahren, die nicht jeder durchführen kann. Wir von amcoss haben dieses Expertenwissen und sind in der Lage, perfekte Reparaturdienstleistungen für Reflektoren und andere Teile von
AMAT, ASM, LAM Research/Novellus anzubieten.

Ihr großer Vorteil

Sie erhalten am Ende immer ein Produkt, das deutlich billiger ist, als ein Originalteil, aber mindestens genauso leistungsfähig! So helfen wir Ihnen dabei, Ihre Prozesse effizienter und nachhaltiger zu machen und darüber hinaus, die Lebensdauer Ihrer Maschinen
deutlich zu verlängern.

REFURBISHMENT & ENGINEERING
VON AMAT ULK REFLEKTOREN & LAM RESEARCH DUV KALTLICHTSPIEGELN

Herausragende Reflexion, Intensität und Uniformität

Unsere Reflektoren – egal ob Neuteil (DUV Spiegel) oder überarbeiteter ULK Reflektor – gleichen einem neuen in Sachen Intensität, Uniformität und Lebensdauer. Die Reflexionswerte sind oft sogar besser und homogener, als bei einem neuen OEM-Reflektor. Ihr Vorteil: Sie erhalten die gleiche bzw. bessere Qualität, wie bei einem neuen Originalteil zu einem spürbar günstigeren Preis!

ULK-Reflektor

ULK Reflektor

DUV Kaltlichtspiegel

DUV Kaltlichtspiegel

Reflexionsvermögen eines neuen OEM
und eines überarbeiteten amcoss ULK Reflektors im Vergleich

Reflexionsvermögen Vergleich OEM amcoss

ULK Reflektoren AMAT Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nr.
Reflector, primary center, blasted 300 mm 0200-05829
CENTER REFLECTOR FLAT DSS, PRODUCER SE Refurbishment 0200-05546
REFLECTOR, PRIMARY M16, INSIDE, DSS 300M Refurbishment 0200-05762
REFLECTOR, PRIMARY M21CA, OUTSIDE, DSS P Refurbishment 0200-06008
Reflector, primary M16, inside, DSS 300M Refurbishment 0200-07687
Reflector, primary M21CA, outside, DSS P Refurbishment 0200-07686

DUV Spiegel LAM Research/Novellus Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nr.
DUV mirror 126 x 47 mm 15-308071-00
DUV mirror 251 x 8 mm 15-327094-00
DUV mirror 251 x 13 mm 15-327095-00
DUV mirror 251 x 47 mm 15-304206-00
DUV mirror 251 x 47 mm edge 15-322844-00
DUV mirror 251 x 73,7 mm 15-327093-00
DUV mirror 251 x 69,4 mm 15-327092-00

Ihr Mehrwert mit amcoss

Dank eines professionelle Refurbishments durch amcoss profitieren Sie nicht nur, weil Sie eine überarbeiteten Komponente in höchster Qualität und Präzision erhalten – eine Reparatur kostet auch deutlich weniger als der Kauf eines neuen Teils, was enormen Kosteneinsparungen mit sich bringt. Die leichte Verfügbarkeit von Teilen, die normalerweise schwer zu bekommen oder die durch den Hersteller gar nicht mehr lieferbar sind, vereinfacht den Beschaffungsprozess und verlängert die Lebens- und Anwendungsdauer Ihrer Anlagen. Außerdem reduzieren die schnelle Lieferung und Disponibilität der reparierten Komponenten zusätzlich die Ausfallzeiten Ihres Maschinenparks. Nicht zuletzt unterstützt Sie das alles dabei, Ihre Nachhaltigkeitsziele für verschiedenste Geschäftsprozesse zu erreichen.

KALIBRIERUNG DES ASSY PYROMETER EPI 300-1300C

Messgenauigkeit, auf die Verlass ist

Das Pyrometer misst und kontrolliert die Temperatur des Wafers in der EPI-Kammer. Degradiert die im Pyrometer verbaute Optik, werden die Messungen ungenau und eine Kalibrierung mittels Kalibrierofen (Black-Body Furnace) notwendig. Wir unterziehen die Linse zunächst einem fundierten Qualitätscheck und tauschen sie gegen eine neue aus. Danach messen wir mit Hilfe eines Kühlflansches am Pyrometer und unseres laboreigenen Kalibrierofens das Temperaturausgangssignal. Die Elektronik wird solange feinjustiert, bis dieses Signal auf das Genaueste stimmt. Sie erhalten von uns also Ihr neu kalibriertes Pyrometer, auf dessen Messgenauigkeit Sie sich wieder verlassen können.

Assy Pyrometer Teststand

Teststand für die Assy Pyrometer EPI Kalibrierung

Assy Pyrometer

Pyrometer OEM-Artikelnummern

Beschreibung OEM-Nr.
Assy Pyrometer EPI 300-1300C für AMAT EPI 0090-03991, 0090-03992

CVD/EPI Artikelliste

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