Plasma

Second Source sowie Engineering
in First Class

Überblick

Unsere Produktpalette im Bereich der Plasmaverfahren

Horrende Beschaffungskosten, inakzeptable Lieferzeiten, null Verfügbarkeit von Originalersatzteilen und kein Angebot an Reparaturen – so sieht es im Sourcing von Spezialkomponenten für Plasmakammern und –verfahren häufig aus. Gut, wenn man dann auf einen Anbieter zurück greifen kann, der einerseits das notwendige Know-how über Materialien, Herstellungsverfahren und Anforderungen hat, um das individuelle Engineering von Komponenten gemäß Kundenbedarf anbieten zu können und bei dem Sie andererseits Second-Source-Komponenten, die den Originalteilen in Bezug auf Qualität und Funktionalität in nichts nachstehen, erhalten.

Wir bieten

• Elektrostatische Chucks (Refurbishments und Neuteile)
• ISO-Heizplatten
• DSQ-Heizplatten
• Standard-Keramikkomponenten (und zugehörige Teile) von AMAT und LAM (Second-Source)
• Keramik-Spezialteile

REFURBISHMENT VON ESC-CHUCKS VON LAM

Voll funktionstüchtig und dicht

Wir offerieren Spezialrefurbishments für die sogenannten ESC Perimeter Lifter (6“ und 8“) von LAM Research. Sobald wir einen defekten ESC Chuck erhalten, starten wir eine Analyse, um die Ursache der Funktionsstörungen bzw. Undichtheit herauszufinden. In verschiedenen Tests und Messungen checken wir, ob die Keramikschicht auf der Chuck-Oberfläche beschädigt ist oder eine schlechte Ebenheit aufweist, ob die Dichtungs- bzw. Haftvermittler-Schicht zwischen Metallchuck und Keramikschicht undicht ist oder ein elektrisches Problem mit den Elektroden besteht. Je nach Ergebnis wird der Chuck gezielt bearbeitet. Nach eingehender Endkontrolle erhalten Sie einen Perimeter Lifter, der wieder wie neu funktioniert und absolut dicht ist. Wir haben namhafte Kunden, die seit vielen Jahren regelmäßig auf unser ESC Chuck-Refurbishment vertrauen und so von der Qualität unserer Überarbeitungen zeugen.

Vor Refurbishment

Nach Refurbishment

Vorderseite

Elektrostatische Chucks

Qualität, Funktion & Design ohne Kompromisse

Neben den Chuck-Refurbishments bieten wir auch rentable Ersatz-Chucks für die Durchmesser 150 mm und 200 mm für LAM Research 9400, 9600, Rainbow und Alliance Ätzplattformen an, die in jeder Hinsicht überzeugen: Sie erhalten einen Chuck, der in Qualität, Funktion und Design zu 100% dem Originalprodukt entspricht und somit garantiert keine Veränderung im Herstellprozess bewirkt. Die einzigen positiven Veränderungen, die Sie zu spüren bekommen sind die deutlich niedrigeren Preise und die schnelle Lieferung! Das bedeutet für Sie eine verbesserte Produktivität, erhöhte Wirtschaftlichkeit, kürzere Reaktionszeiten und mehr Planungssicherheit.

Chuck für TCP9600 – Vorderseite

Chuck für TCP9600 – Rückseite

Chuck für Alliance -Vorderseite

Chuck für Alliance -Rückseite

DSQ- und ISO-Heizplatten

Immun gegen Oberflächenbeschädigungen

DSQ-Heizplatte

ISO-Heizplatte

In unsere Heizplatten haben wir eine intelligente Problemlösung gleich miteingebaut: die Heizdrähte werden fix in die Aluplatte eingelassen und sind somit perfekt geschützt – ganz im Gegenteil zu konventionellen Heizplatten, bei denen eine externe Heizfolie lediglich auf die Rückseite aufgeklebt wird. was sie sehr anfällig für Beschädigungen, wie Kratzer oder Abrieb macht. Bei unseren amcoss Heizplatten mit integrierten Heizdrähten kann mechanische Reibung auf der Oberfläche den Drähten nichts anhaben. Das verlängert Kontroll- und Austauschzyklen, erhöht die Lebensdauer und reduziert somit Kosten!

Integrierte Heizdrähte auf der Plattenrückseite

Vorderseite

Bei den DSQ-Heizplatten kommt noch das Problem der Verformung aufgrund der enormen Aufheizung der Platten auf bis zu 280 °C während des Plasmaprozesses dazu. Da dann die Gleichförmigkeit nicht mehr gewährleistet ist, werden zwangsläufig die Wafer ungleich erhitzt und verascht.
amcoss DSQ-Paddle haben im Vergleich zu herkömmlichen Heizplatten eine verbesserte, innovative Formgebung. Sie verringert und verzögert die Verwerfung deutlich. Eine wesentlich längere und bessere Homogenität der Platte mit allen positiven Effekten ist die Folge.

Plasma Artikelliste

Keramikteile

Vielfältige Engineering-Lösungen und Second-Source-Komponenten

Wenn Sie einen Lieferanten suchen, der keramische Spezialteile für die Halbleiter-, Elektronik- und andere Industrien gemäß individueller Kundenspezifikation in kleinen Stückzahlen und dennoch in höchster Qualität bietet, sind Sie bei amcoss genau richtig. Nach Ihren Vorgaben konstruieren und zeichnen wir komplexe Baugruppen aus unterschiedlichen Material-Zusammenstellungen (Keramik – Keramik, Keramik – Metall, Keramik – Kunststoff), veranlassen und überwachen die Produktion.

• Aluminium-Oxid Al2O3
• Aluminium-Nitrid AlN
• Zirkonoxid ZrO2
• Quarz SiO2
• Saphir
• Graphit
• Poröse Keramiken

Keramikhülse

Keramikstift

Zirkonoxid-Ring

Quarzring

Keramikarm

Quarzhülse

RF Keramik-Window