CVD/EPI Neuer Glanz für Reflektoren
Überblick
Unsere Services im Bereich CVD/EPI
Die Beschaffung von CVD/EPI-Spezialteilen ist leider sehr teuer und ein Austausch daher kostspielig.
Reparaturen sind kompliziert und somit braucht man dafür fundiertes Know-how, das nur wenige haben und spezielle Verfahren, die nicht jeder durchführen kann. Wir von amcoss haben dieses Expertenwissen und sind in der Lage, perfekte Reparaturdienstleistungen für Reflektoren und andere Teile von
AMAT, ASM, LAM Research/Novellus anzubieten.
Ihr großer Vorteil
Sie erhalten am Ende immer ein Produkt, das deutlich billiger ist, als ein Originalteil, aber mindestens genauso leistungsfähig! So helfen wir Ihnen dabei, Ihre Prozesse effizienter und nachhaltiger zu machen und darüber hinaus, die Lebensdauer Ihrer Maschinen
deutlich zu verlängern.
REFURBISHMENT & ENGINEERING
VON AMAT ULK REFLEKTOREN & LAM RESEARCH DUV KALTLICHTSPIEGELN
Herausragende Reflexion, Intensität und Uniformität
Unsere Reflektoren – egal ob Neuteil (DUV Spiegel) oder überarbeiteter ULK Reflektor – gleichen einem neuen in Sachen Intensität, Uniformität und Lebensdauer. Die Reflexionswerte sind oft sogar besser und homogener, als bei einem neuen OEM-Reflektor. Ihr Vorteil: Sie erhalten die gleiche bzw. bessere Qualität, wie bei einem neuen Originalteil zu einem spürbar günstigeren Preis!
ULK Reflektor
DUV Kaltlichtspiegel
Reflexionsvermögen eines neuen OEM
und eines überarbeiteten amcoss ULK Reflektors im Vergleich
ULK Reflektoren AMAT Artikelnummern
| Beschreibung | OEM-Nr. |
| Reflector, primary center, blasted 300 mm | 0200-05829 |
| CENTER REFLECTOR FLAT DSS, PRODUCER SE Refurbishment | 0200-05546 |
| REFLECTOR, PRIMARY M16, INSIDE, DSS 300M Refurbishment | 0200-05762 |
| REFLECTOR, PRIMARY M21CA, OUTSIDE, DSS P Refurbishment | 0200-06008 |
| Reflector, primary M16, inside, DSS 300M Refurbishment | 0200-07687 |
| Reflector, primary M21CA, outside, DSS P Refurbishment | 0200-07686 |
DUV Spiegel LAM Research/Novellus Artikelnummern
| Beschreibung | OEM-Nr. |
| DUV mirror 126 x 47 mm | 15-308071-00 |
| DUV mirror 251 x 8 mm | 15-327094-00 |
| DUV mirror 251 x 13 mm | 15-327095-00 |
| DUV mirror 251 x 47 mm | 15-304206-00 |
| DUV mirror 251 x 47 mm edge | 15-322844-00 |
| DUV mirror 251 x 73,7 mm | 15-327093-00 |
| DUV mirror 251 x 69,4 mm | 15-327092-00 |
Ihr Mehrwert mit amcoss
Dank eines professionelle Refurbishments durch amcoss profitieren Sie nicht nur, weil Sie eine überarbeiteten Komponente in höchster Qualität und Präzision erhalten – eine Reparatur kostet auch deutlich weniger als der Kauf eines neuen Teils, was enormen Kosteneinsparungen mit sich bringt. Die leichte Verfügbarkeit von Teilen, die normalerweise schwer zu bekommen oder die durch den Hersteller gar nicht mehr lieferbar sind, vereinfacht den Beschaffungsprozess und verlängert die Lebens- und Anwendungsdauer Ihrer Anlagen. Außerdem reduzieren die schnelle Lieferung und Disponibilität der reparierten Komponenten zusätzlich die Ausfallzeiten Ihres Maschinenparks. Nicht zuletzt unterstützt Sie das alles dabei, Ihre Nachhaltigkeitsziele für verschiedenste Geschäftsprozesse zu erreichen.
KALIBRIERUNG DES ASSY PYROMETER EPI 300-1300C
Messgenauigkeit, auf die Verlass ist
Das Pyrometer misst und kontrolliert die Temperatur des Wafers in der EPI-Kammer. Degradiert die im Pyrometer verbaute Optik, werden die Messungen ungenau und eine Kalibrierung mittels Kalibrierofen (Black-Body Furnace) notwendig. Wir unterziehen die Linse zunächst einem fundierten Qualitätscheck und tauschen sie gegen eine neue aus. Danach messen wir mit Hilfe eines Kühlflansches am Pyrometer und unseres laboreigenen Kalibrierofens das Temperaturausgangssignal. Die Elektronik wird solange feinjustiert, bis dieses Signal auf das Genaueste stimmt. Sie erhalten von uns also Ihr neu kalibriertes Pyrometer, auf dessen Messgenauigkeit Sie sich wieder verlassen können.
Teststand für die Assy Pyrometer EPI Kalibrierung
Pyrometer OEM-Artikelnummern
| Beschreibung | OEM-Nr. |
| Assy Pyrometer EPI 300-1300C für AMAT EPI | 0090-03991, 0090-03992 |
