Unser breitgefächertes Produktportfolio

amcoss Engineering-Komponenten

  • Diverse Filter (z.B. I-line Filter, G-Line Filter, Sub-I-Line Filter, Uniformity Filter, Gradientenfilter), Linsen (z.B. Kondensorlinsen, Korrektorlinsen, Input-Linsen, Zoom-Linsen, Fly Eye Linsen) & Spiegel (z.B. Ellipsoide Spiegel, Dichroitische Spiegel, UV-Spiegel) für Anlagen von Canon, Nikon, ASML und Ultratech
  • Waferchucks für Lithographie, Belackung u.a. Anwendungen
  • Lichtleiter aus Glas und Safir
  • Hotplates
  • Präzisionsteile aus Metall, Kunststoff & keramischen Werkstoffen
  • Waferhandler, Wafer Endeffektor, Lackdüsen
  • Optische Beschichtungen, Schutzschichten gegen Verschleiß und Korrosion

amcoss Reparaturservice

  • Beleuchtungsoptiken für G- und I-line Stepper, Scanner und Maskaligner
  • Shutter und Motoren von Canon & Nikon
  • Canon Stepper Chuck & ASML Wafer Table
  • Zygo und HP Laser
  • Roboter, Controller
  • Spin-Motoren
  • Lack-Temperiergeräte
  • Reflektorplatten für RTP
  • UV Reflektoren für Curing und CVD
  • RTP-Kugellager
  • Gold-Reflektoren für EPI und RTP
  • Hitzeschild – EPI Centura
  • Linsen von Canon und Nikon
  • Spot Cure / Lampenhaus
  • Pyrometer-Kalibrierung
  • Beamsplitter
  • Optische Isolatoren
  • Verzögerungsplatten – Wafeplates
  • Kalibrierungspins
  • Vakuum-Dreharme
  • Goldhülsen
  • Tempmatch-Kalibrierung

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