Reparatur von RTP-Kugellagern

Die Oberfläche des Führungslagers wird oft zerkratzt, wodurch die Keramikkugeln die PVD-Beschichtung und dann auch die darunter liegende Oberfläche beschädigen. Dadurch geraten der Rundlauf sowie der axiale Seitenlauf des Lagers aus den Toleranzen. Ein hoher Geräuschpegel und Partikelbildung sind ebenfalls eine Folge.

Reparaturprozess beim Kugellager für AMAT RTP XE

  1. Inspektion und Vermessung des zu überarbeitenden Kugellagers und Dokumentation der Ergebnisse.
  2. Analyse der verschleißfesten PVD-Beschichtung, bevor sie entfernt wird.
  3. Die freigelegte Oberfläche wird solange mechanisch bearbeitet und poliert, bis mindestens die OEM-Toleranzen erreicht sind.
  4. Erneute Messung der Dimensionen sowie Vergleich der Beschaffenheit der unbeschichteten Oberfläche mit einem „Oberflächenrauheit-Normen-Komparator“.
    OEM Spec: 7 AA max.
    amcoss: 2 AA
    → Die Güte der von amcoss bearbeiteten Oberfläche ist 3,5 Mal besser, als die OEM- Spezifikation!
  5. Aufbringen der speziellen PVD-Beschichtung, die in Bezug auf Leistungsfähigkeit, Dicke und Zusammensetzung genau den OEM-Vorgaben entspricht.
  6. Endinspektion: Alle Parameter, die bei einem neuen Teil relevant sind, werden auch nach der Reparatur durch amcoss gemessen und dokumentiert. In der Regel übertreffen sie sogar die Werte des Neuteils!