Reparatur von UV Spiegel-Reflektoren

Lösungsmittel und andere volatile Stoffe in den Schutzschichten verdampfen während des Aushärtens durch die hohen Temperaturen der Lampe. Sie kondensieren auf der Reflektor-Oberfläche und bilden eine ungewollte Schicht. Diese reduziert die UV-Reflexionsfähigkeit der Beschichtung und verschlechtert die Uniformität. Fazit: Überarbeitung notwendig!

amcoss entschichtet, poliert, säubert und beschichtet erneut. Anschließende Messungen zeigen, dass die Beschichtung – und somit auch die Reflexion – nach der Erneuerung extrem homogen ist. Die Reflexion steigt drastisch, ebenfalls werden Intensität, Uniformität und Lebensdauer deutlich verbessert.

Beispiel: Vergleichsmessungen bei einem Axcelis Reflektor

Reflexion VOR Refurbishment durch amcoss

Reflexion NACH Refurbishment durch amcoss

Vergleich Intensität vor und nach Refurbishment durch amcoss

amcoss Inspektions-/Testbericht