Canon Stepper Chucks und ASML Wafer Tables

amcoss bietet Refurbishments der Vorder- und Rückseite von Canon Stepper Exposure Pin und Ring Chucks sowie ASML Wafer Tables.

Zuerst wird gecheckt, ob Flecken, Kratzer und vor allem Risse und Abplatzungen überhaupt reparierbar sind.

Vor und nach der Reparatur wird die Ebenheit des Chucks mittels Interferometer präzise gemessen. Ebenso während des Bearbeitungsprozesses und zwar so oft, bis der bestmögliche PV-Wert (Peak-to-Valley-Wert), der die Ebenheit angibt, erreicht ist.

Vergleich der Ebenheit – Peak-to-Valley-Wert