Canon Stepper Chucks und ASML Wafer Tables

amcoss bietet Refurbishments der Vorder- und Rückseite Ihrer gebrauchten Canon Stepper Exposure Pin und Ring Chucks sowie ASML Wafer Tables.

Zuerst wird gecheckt, ob Flecken, Kratzer und vor allem Risse und Abplatzungen überhaupt reparierbar sind und sich der Aufwand für Sie lohnt.

Vor und nach der Reparatur wird die Ebenheit des Chucks mittels Interferometer präzise gemessen. Ebenso während des Refurbishmentsprozesses. Wir bearbeiten den Chuck so lange für Sie, bis der bestmögliche PV-Wert (Peak-to-Valley-Wert), der die Ebenheit angibt, erreicht ist.

Vergleich der Ebenheit – Peak-to-Valley-Wert