Reparatur von Leica Vakuum-Dreharmen

Der Vakuum-Dreharm transportiert Wafer aus der Kassette zur Inspektion zum Mikroskop und positioniert sie präzise. Verbiegt sich der Dreharm auch nur leicht, ist die nötige Präzision nicht mehr gewährleistet.

Ein neuer Arm ist extrem teuer, deshalb haben wir von amcoss ein Reparatur-Spezialverfahren entwickelt. Zunächst vermessen wir den kompletten Arm auf Ebenheit und Parallelität.

Dann zerlegen wir ihn: wir haben eine Methode gefunden, mit der sich die Klebeverbindungen der Kunststoff- und Alu-Teile lösen lassen. Jedes noch so kleine Einzelteil wird wiederum vermessen. Die detaillierten Messprotokolle geben die weiteren Bearbeitungsschritte vor.

Der Alu-Dreharm wird in einem besonderen Verfahren gerichtet, die Kleinteile, wenn nötig, mechanisch bearbeitet. So stellen wir Ebenheit und Parallelität wieder her.

Danach werden alle PEEK-Kunststoff- und Alu-Teile erneut eingeklebt. Erfahrung in Sachen Klebetechnik ist hier gefragt.

Die Kosteneinsparung im Vergleich zum Neukauf ist enorm, die Präzision hingegen gleichwertig. Eine Überarbeitung des Dreharmes ist außerdem mehrfach möglich, was den Kostenvorteil vervielfacht.