Digitaler amcoss Gradientenfilter für ASML

Basierend auf den Maschinendaten des Wafersteppers unseres Kunden entwarfen wir einen neuen, individuellen Gradientenfilter, der 100% spezifisch auf die jeweilige Kundenmaschine ausgelegt war. Ziel war die Kompensation der Inhomogenität der Lichtintensität.

Uniformitätsvergleich