Ultra Low K (ULK) Reflektor Reparatur

Die ULK-Reflektoren sind in der AMAT oder Novellus Anlage um die UV-Lampe positioniert. Sie unterliegen hoher thermischer Belastung, wodurch sich die Beschichtung irgendwann ablöst. Konsequenz: Die Reflexion des UV-Lichtes und die Uniformität verschlechtern sich merklich.

Beschädigungen der Beschichtung

amcoss Reparatur-Prozess bei ULK Reflektoren

Der von uns überarbeitete Reflektor gleicht einem neuen in Sachen Intensität, Uniformität und Lebensdauer. Die Reflexionswerte sind sogar besser und homogener, als bei einem neuen OEM-Reflektor.

Vergleich Reflexion neuer OEM vs. reparierter amcoss ULK Reflektor

Ihr Vorteil: Sie erhalten die gleiche bzw. bessere Qualität, wie bei einem neuen Reflektor zu einem spürbar günstigeren Preis!