Reparatur Hitzeschild – EPI Centura

Beim EPI Centura findet man oft sehr stark degradierte Gold- und Nickel-Beschichtungen. Ein weiteres Problem sind Schweißnähte an den Kühlleitungen, die leck werden. Dadurch kann Kühlflüssigkeit in die EPI-Kammer gelangen und den Prozess stören.

Ein Leckagen-Test hilft hier bei einer präzisen Analyse: Wasserstoff wird mit einem Druck von über 10 bar in die Kühlleitungen gepumpt. Dort verbleibt er für 24 Stunden. Ein sogenannter H2-Schnüffler kann dann undichte Schweißpunkte aufspüren.

amcoss Reparatur-Prozess beim Hitzeschild EPI Centura

Erst jetzt reparieren wir. Selbstverständlich führen wir vor und nach Reparatur fundierte Reflexionsmessungen durch. Damit ist es aber in diesem Fall nicht getan. „100% dicht “ heißt unsere Devise. Daher erfolgt nach der Reparatur noch einmal ein Leckagen-Test. So erhalten Sie ein neuwertiges Hitzeschild, das dicht hält!