Pyrometer-Kalibrierung

Das Pyrometer misst und kontrolliert die Temperatur des Wafers in der EPI-Kammer. Degradiert die verbaute Optik, werden die Messungen ungenau und eine Kalibrierung notwendig.

Wir unterziehen die Linse zunächst einem fundierten Qualitätscheck und tauschen sie gegen eine neue aus. Danach montieren wir einen Kühlflansch am Pyrometer und messen mit Hilfe unseres laboreigenen Kalibrierofens das Temperaturausgangssignal. Die Elektronik wird solange feinjustiert, bis dieses Signal auf das Genaueste stimmt.